FPD 與 OLED 設備在處理超精細面板時，對微振動控制與顆粒污染控制極為敏感。AMS 的低振動、低顆粒線性運動解決方案適用于潔凈室環(huán)境，可在精密工作臺的進給以及高精度對位過程中保證重復定位精度。應用于面板搬運、掩膜對準、曝光與檢測設備時，有助于提升制程良率，并增強設備的長期穩(wěn)定性。
